第120章 先进光刻机数据？你确定你没有算错(第4/5 页)
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……
数据越来越明显，孙博脑子里也是大胆的出现了一个想法，这难道是：【光刻机双工件台系统的数学模型？】
孙博是科学院自动化所的，光刻机这方面虽然不是他的主要方向，但科学院长机所和沪上微电子一直有紧密的合作，相关的东西他甚至还有所参与。
一旦有所怀疑，数据验证那就变得十分简单了。
“这个是压力边界参数、速度边界参数……”
“这个是宏动台的地面和侧面气模面面积……”
“这个是阻尼系数……力矩平衡方程……”
……
刚刚所计算出来的数据，被孙博一一对应起来，确真无疑：这就是光刻机双工件台系统的数学模型！
而且看起来，这数据……
“这数据当然非常先进，如果你没算错的话！”
孙博只是对数学模型比较擅长，具体对应的硬件设备他并不了解，于是也没管是不是凌晨一点，直接打了好几个电话把长机所的一个同事楚强给薅了起来。
“算错？你是说我？”孙博瞬间就不乐意了。
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